高真空镀碳仪High Vacuum Sputter Coater
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3/人使用者
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3/次机时次数
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1/小时总时长
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0/次送样次数
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3/人收藏者
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收费标准
机时200元/小时 -
设备型号
Cressington 208C -
当前状态
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管理员
杨磊青 15255151084,付刚18116093956,周黎笋 -
放置地点
卫光生命科学园1A栋三层308
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
高真空镀碳仪High Vacuum Sputter Coater
资产编号
SA2024100000157
型号
Cressington 208C
规格
产地
英国
厂家
所属品牌
Cressington
出产日期
购买日期
所属单位
生物结构解析平台
使用性质
科研
所属分类
电镜相关
资产负责人
付刚18116093956
联系电话
联系邮箱
yangleiqing@smart.org.cn
放置地点
卫光生命科学园1A栋三层308
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.标配5m3/hr旋转机械泵＋70L/s涡轮分子泵（可选无油真空系统）；极限真空度：5x10-5mbar；
2.工作腔室尺寸150mm（内径）x 127mm（高）；
3.标配φ50 mm旋转样品台，可10-20rpm变速旋转，工作距离38-70mm可调；
4.溅射镀膜：溅射电流：1-150mA，连续可调，调节步径1 mA；
5.可设定镀膜时间范围：1-3600秒，连续可调，调节步径1秒；
6. 蒸发镀碳膜：蒸发电流：1~70A；
7.蒸发模式：脉冲式蒸发、斜坡式蒸发。
2.工作腔室尺寸150mm（内径）x 127mm（高）；
3.标配φ50 mm旋转样品台，可10-20rpm变速旋转，工作距离38-70mm可调；
4.溅射镀膜：溅射电流：1-150mA，连续可调，调节步径1 mA；
5.可设定镀膜时间范围：1-3600秒，连续可调，调节步径1秒；
6. 蒸发镀碳膜：蒸发电流：1~70A；
7.蒸发模式：脉冲式蒸发、斜坡式蒸发。
主要功能及特色
高真空镀膜仪是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀碳至基片表面凝聚成膜的工艺方法。
设备使用相关说明
试运行期间，对内按照成本收取高价值耗材费用，对外需收费
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